vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAH-0001

真空和氣體流的高精度控制和隔離在半導(dǎo)體制造中是至關(guān)重要的。在上游和下游過程中，所有的閥門功能必須保證在大量的循環(huán)中具有精確的重復(fù)性。其結(jié)果是：在規(guī)定的時(shí)間間隔內(nèi)精確的體積流量和一致的、可靠的密封。VAT控制和隔離閥在此設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。

技術(shù)參數(shù)：

尺寸

DN 25 (1")

驅(qū)動(dòng)器

步進(jìn)電機(jī)

材料

鋁

法蘭

ISO-KF

控制器配置

SPS

控制器接口+感應(yīng)器

RS232接口/2個(gè)感應(yīng)器

低壓力

1 × 10-8 mbar

最高壓力

1.2 bar (abs)

泄漏率

1 × 10-9 ls-1

循環(huán)直到第一次維修

2 000 000

最高溫度閥體

≤ 150 °C

密封

FKM

閘門上的壓差

≤ 1 bar

典型的關(guān)閉或開放時(shí)間

90 ms

最小可控電導(dǎo)率(N2分子流)

0.15 ls-1

最大電導(dǎo)率(N2分子流)

22 ls-1

重量

2.2 kg / 4.85 lbs

vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAH-0001